Компьютерное моделирование и экспериментальные исследования закономерностей плазмохимического осаждения тонких пленок нитрида кремния - S. A. Konakov; V. V. Krzhizhanovskaya (Неделя науки СПбГПУ : материалы Научно-практической конференции с международным участием, 2-7 декабря 2013 года, 2014)