@inproceedings{Lebanin2011a, author = {V. S. Lebanin and V. V. Krzhizhanovskaya}, booktitle = {ХL Неделя науки СПбГПУ}, pages = {131-132}, title = {Обзор плазмохимических методов получения нитрида Кремния}, volume = {6}, year = {2011} }